Usoro nhazi oven resin BCB maka nrụpụta Microelectronics

**BCB Resin High-okpomọkụ na-agwọ oven usoro ịsa achịcha ***

N'ọhịa nke microelectronics n'ichepụta, benzocyclobutene (BCB) resin, dị ka a elu-arụmọrụ polymer ihe, aghọwo isi ihe na nkwakọ na interconnection teknụzụ n'ihi ya magburu onwe dielectric Njirimara, pụtara ìhè okpomọkụ kwụsie ike, na chemical nkwụsi ike. Ngwa nke resin BCB buru ibu, gụnyere ma ọnweghị oke na nkwakọ ngwaahịa semiconductor, sistemụ micro-electromechanical (MEMS), ngwaọrụ optoelectronic, wdg Iji hụ na resin BCB na-arụ ọrụ nke ọma na ngwaọrụ ndị a dị elu, usoro ikpo ọkụ na-ekpo ọkụ na-ekpo ọkụ dị oke mkpa. Usoro ọgwụgwọ nke resin BCB bụ mmeghachi omume kemịkalụ dị mgbagwoju anya nke chọrọ njikwa ọnọdụ okpomọkụ, oge, ikuku na ihe ndị ọzọ. Igwe ọkụ na-ekpo ọkụ na-ekpo ọkụ dị elu, dị ka isi ihe na-arụ ọrụ na usoro a, na-emetụta kpọmkwem ịdị mma nke resin BCB, nke na-emetụta arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ microelectronic.

**Nkwadebe Tupu usoro ịsa achịcha**

Nkwadebe oven
Ịhọrọ oven nke na-emezu ihe ndị a chọrọ n'ụzọ zuru ezu bụ nzọụkwụ dị mkpa n'ịhụ na mmepụta mmepụta na arụmọrụ. Igwe ọkụ a na-eji eme ihe na usoro a ga-enwerịrị usoro njikwa okpomọkụ ziri ezi, usoro nchebe gas a pụrụ ịdabere na ya, na ikike zuru ezu iji nabata ihe nlele ndị a ga-esi sie. Tupu ịsa achịcha, a ga-enyocha oven nke na-ekpo ọkụ na-ekpo ọkụ ma kpochaa ya nke ọma iji hụ na ọ dịghị uzuzu ma ọ bụ adịghị ọcha n'ime ya, na usoro ikpo ọkụ, usoro nchịkwa okpomọkụ, na usoro nchebe gas na-arụ ọrụ nke ọma. Nke a na-agụnye ịlele ihe ndị dị ka ihe ndị na-ekpo ọkụ, ihe mmetụta okpomọkụ, ọnụego okpomọkụ, na ndị na-ahụ maka ikuku gas.

Nkwadebe ihe atụ
Ngwa (dịka ọmụmaatụ, silicon wafers, ceramic substrates, wdg) nke a ga-etinye na resin BCB kwesịrị ihicha ma kpoo ya iji hụ na enweghị adịghị ọcha ma ọ bụ mmiri dị n'elu. Enwere ike iji oven ihicha iji hụ na ewepụrụ mmiri nke ọma na ihe ndị ahụ. Ekwesịrị kpuchie resin mmiri mmiri BCB n'otu n'otu n'elu mkpụrụ site na iji usoro dị ka mkpuchi mkpuchi, mkpuchi ịgba, ma ọ bụ mkpuchi dobe. Ekwesịrị ịchịkwa ọkpụrụkpụ mkpuchi ahụ dịka usoro achọrọ ka ọ dị mkpa iji hụ na ọgwụgwọ kacha mma na usoro ndị ọzọ.

** Usoro ịme achịcha ***

Nchekwa nitrogen
Tupu itinye ihe nlele ahụ n'ime oven, ekwesịrị iwebata gas nitrogen iji chụpụ ikuku wee mepụta ebe ịsa mmiri na-enweghị oxygen. A ghaghị imezigharị ọnụego na ịdị ọcha nke gas nitrogen dabere na usoro a kapịrị ọnụ iji hụ na ihe atụ ndị ahụ adịghị oxidized n'oge a na-eme achịcha.

Usoro ikpo ọkụ na ijide
A na-ekewa usoro ịsa achịcha n'ọtụtụ akụkụ okpomọkụ, nke ọ bụla nwere ebumnuche na oge chọrọ:
Akụkụ Okpomọkụ Mbụ: Malite ikpo ọkụ site na ụlọ okpomọkụ ruo n'obere okpomọkụ (dịka ọmụmaatụ, gburugburu 100 Celsius). Ebumnuche bụ isi nke ogbo a bụ ikwe ka ihe mgbaze dị na resin BCB jiri nke nta nke nta kpochapụ na iji belata nrụgide dị n'ime na oyi akwa resin. Mgbe ejidechara maka oge edobere (dịka ọmụmaatụ, nkeji 10-30), gaa na mpaghara okpomọkụ ọzọ.
Akụkụ okpomọkụ nke abụọ: Gaa n'ihu na-ekpo ọkụ na okpomọkụ dị elu (dịka 200-260 Celsius C), ebe resin BCB na-amalite ịmalite mmeghachi omume na-agafe agafe ma mepụta usoro netwọk kwụsiri ike. Mgbe ejidechara maka oge ụfọdụ (ekpebisiri ike site na usoro achọrọ), njirimara anụ ahụ na kemịkal nke oyi akwa resin ga-akawanye mma.
Akụkụ okpomọkụ nke atọ (ọ bụrụ na ọ dị mkpa): Usoro ụfọdụ nwere ike ịchọ ka a na-esi nri ọzọ na okpomọkụ dị elu (dịka, 280-360 Celsius) ogologo oge iji kwalite ịrụ ọrụ oyi akwa resin BCB. Agbanyeghị, ọ dị mkpa ịkpachara anya n'ihi na oke okpomọkụ ma ọ bụ oge nwere ike ime ka ngafe gafere ma ọ bụ chaja oyi akwa resin.

Ịjụ oyi na mwepụ
Mgbe emechara achịcha ahụ, a ga-eji nwayọọ nwayọọ belata okpomọkụ nke oven ruo n'okpuru ụlọ okpomọkụ (dịka ọmụmaatụ, n'okpuru 80 Celsius) iji zere mgbawa ma ọ bụ nrụrụ nke ihe nlele nke nnukwu ọdịiche okpomọkụ kpatara. Ozugbo okpomọkụ ahụ ruru ebe dị mma, a ga-agbanyụ usoro gas nitrogen, ma nwee ike wepụ ihe nlele ahụ maka nhazi ọzọ.

** Njikwa ihe isi ihe ***

Okpomọkụ
Okpomọkụ n'oge a na-eme achịcha bụ otu n'ime ihe ndị kachasị mkpa na-emetụta mmetụta ọgwụgwọ nke resin BCB. A ghaghị ịchịkwa akụkụ okpomọkụ ọ bụla nke ọma dabere n'ụdị resin BCB, ọkpụrụkpụ mkpuchi, na usoro chọrọ.

Oge
A ga-ejikwa nke ọma chịkwaa oge ejidere na mpaghara okpomọkụ ọ bụla iji hụ na ejikọtala resin BCB zuru oke ma gwọọ ya. Ogologo oge dị mkpirikpi nwere ike ibute ọgwụgwọ ezughị ezu, ebe ogologo oge nwere ike ime ka ịka nká ma ọ bụ arụ ọrụ nke oyi akwa resin.

Nitrogen Flow na ịdị ọcha
Nchekwa nitrogen dị oké mkpa iji gbochie oxidation nke resin BCB n'oge ịsa mmiri. Ekwesịrị ịhazigharị ọnụọgụ nitrogen dabere na ike oven na ọnụ ọgụgụ nke ihe atụ, na ịdị ọcha nitrogen kwesịrị ịdị na-enyocha mgbe niile iji mezuo usoro a chọrọ.

**Mkpachapụ anya**

N'oge a na-eme achịcha, nyochaa nke ọma ọnọdụ oven na ọnọdụ ịsa achịcha nke ihe nlele ahụ, ma dozie nsogbu ọ bụla ozugbo.
Mgbe emechara, a ga-enyocha ihe nlele ahụ iji nyochaa ma oyi akwa resin BCB ọ dabara ụkpụrụ arụmọrụ achọrọ.
Idozi na ọrụ nke oven na nitrogen usoro dị mkpa iji hụ na ọrụ ha na-arụ ọrụ na ịgbatị ndụ ọrụ ha.

Usoro ikpo ọkụ na-ekpo ọkụ na oven maka resin BCB bụ usoro dị mgbagwoju anya gụnyere ọtụtụ usoro na paramita. Site n'ịchịkwa kpọmkwem okpomọkụ, oge, nitrogen eruba, na ihe ndị ọzọ, ọ ga-ekwe omume ịhụ na BCB resin na-emepụta ihe nkiri dị mkpa dị elu na semiconductor ma ọ bụ ngwaọrụ microelectronic ndị ọzọ, si otú ahụ na-emezu ihe achọrọ. N'ime ngwa bara uru, ekwesịrị ime mgbanwe na njikarịcha dabere na usoro achọrọ na njirimara ihe.